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牛津仪器等离子部工艺论文集

放大字体  缩小字体 发布日期:2014-01-21  浏览次数:5

本论文集由世界各地牛津仪器的用户们根据操作经验撰写,特邀各位共赏。

作者包括:

来自德国卡塞尔大学的Ferdinand Messow

来自美国康奈尔大学的Vince Genova

来自电子、微电子及纳米技术研究院的Farid Medjdoub

来自英国南安普敦大学纳米制造中心的Prof Peter Ashburn 和 Dr Harold M. H. Chong

用户技术论文竞赛获奖者Mohammadreza Khorasaninejad

内容包括:

Single step vertical structuring of ion beam sputtered SiO2/Si multilayer stacks using Oxford Instruments Plasmalab100 ICP-RIE

Wide band gap power semiconductor device production using GaN and Si process solutions

Paving the way for millimeter wave GaN-on-silicon transistors using Oxford Instruments plasma systems

update of photoresist masked silicon dioxide ICP etching at Cornell University

Delivery module enabling TEOS-based PECVD in PlasmaPro 100 & PlasmaPro 133 process tools

Magnetron sputtering at Oxford Instruments goes for gold

Single nanometer manufacturing

Contamination control in ion beam sputter deposited films

ZnO atomic layer deposition for high performance thin film nanowire field effect transistors

Graphene and related materials

Silicon Nano Pillar Sensor (SiNaPS)

查看更多信息,请点击: http://www.oxford-instruments.com/businesses/nanotechnology/plasma-technology/process-news

如需了解牛津仪器等离子部更多产品,请点击:http://www.oxford-instruments.cn/plasma

关于牛津仪器

牛津仪器公司1959年创建于英国牛津,是英国伦敦证交所的上市公司,生产分析仪器、半导体设备、超导磁体、超低温设备等高技术产 品。在五十多年的高速发展过程中,牛津仪器公司凭借自身的科研优势,以超前的技术、出色的管理和独树一帜的产品和服务为全球的科技发展作出了巨大的贡献。 牛津仪器现已成为世界著 名的科学仪器领域的跨国集团公司,拥有分布于英国、美国、芬兰、德国和中国的十几个工厂、数十个分公司和办事处,业务遍及全球一百多个国家和地区。

牛津仪器公司始终关注和支持着中国的发展,其产品于40年前就进入了中国市场,与中国的科研、教育和工业界的合作卓有成效。牛津仪器在北京、上海、广州和成都设有分公司或办事处,在上海有生产、研发和全国售后服务中心,为广大中国用户提供及时、有效的服务。

具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站:www.oxford-instruments.cn    www.oxford-instruments.com

牛津仪器(上海)有限公司 电话: (021) 64908280 传真: (021) 64904042

牛津仪器(上海)有限公司上海办事处 电话: (021)61273858 传真: (021)61273828

牛津仪器(上海)有限公司北京办事处 电话: (010) 65188160 传真: (010) 65188155

牛津仪器(上海)有限公司广州办事处 电话: (020) 83649990 传真: (020) 83649996

牛津仪器(上海)有限公司成都办事处 电话: (028) 86703596 传真: (028) 86703595

 
 
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